是一种油封式机械真空泵，其主要部件包括泵体、转子，旋片、端盖、弹簧等。其有两种类型：单级和双级。双级旋叶真空泵是等离子清洗机中常用的设备。所谓的双级旋片真空泵在结构上串联两个单级泵。旋片真空泵的泵腔内偏心安装有转子，转子的外圆与泵腔的内表面相切。同时，两个带弹簧的旋片安装在转子槽中。当转子旋转时，旋片的顶端通过离心力和弹簧力与泵腔内壁保持接触，转子的旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。真空泵使用两个旋片将泵腔分成三部分。由于转子是偏心安装的，三个部分的空间会随着转子，的旋转而变化，压差被用来达到抽气的目的。

　　等离子清洗机真空泵采用外接方式，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被*地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。等离子清洗机也是具有广泛的应用领域，比如光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

　　等离子清洗机真空泵的选择：

　　对于标准等离子清洗机，可以考虑特殊旋片泵。 泵越大，工艺时间就越短。可以根据腔室容积和所需的工艺时间自定义选择泵。有些处理产品会释放大量气体。在这种情况下，建议使用性能更强的泵。抽真空速度是决定一台真空等离子清洗机的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取决于真空泵。

　　https://www.chem17.com/st504055/erlist_2333695.html

　　http://www.whyueyi.com/Products-36793039.html